Application de la spectrometrie de masse par ionisation laser resonnante a l'etude des processus multiphotoniques des interactions laser-surface et a l'analyse de traces dans les materiaux

par TATAINA GIBERT

Thèse de doctorat en Chimie

Sous la direction de Bernard Dubreuil.

Soutenue en 1991

à Orléans .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    La spectrometrie de masse associee a l'ionisation laser resonnante (rims) se revele une methode tres puissante tant pour l'analyse d'ultra-traces dans les materiaux que pour l'etude fondamentale des processus physiques d'interaction faisceau d'ion, faisceau laser/surface. L'arsenic et le carbone jouent un role important dans l'elaboration des materiaux pour la microelectronique. Ces elements ont ete detectes par ionisation a (2+1) photons et bombardement ionique et la sensibilite de la methode est de l'ordre de 100 ppm par tir laser. Nous avons aussi etudie la possibilite d'etendre la methode rims a l'analyse des elements metalliques dans les matrices isolantes (verres sio#2 et fluores). Parallelement a l'etude du comportement de ces verres sous bombardement ionique, nous avons montre la faisabilite de la detection d'ultra-traces de fer au niveau du ppb atomique. En effet, les verres fluores presentent des proprietes remarquables (ultratransparence, fibre optique, fibre laser) limitees par la presence d'impuretes metalliques. La methode rims permet d'atteindre la sensibilite analytique necessaire au controle des procedes de purification de ces verres fluores. Dans la seconde partie du memoire, nous presentons l'etude par rims de la vaporisation d'une matrice de fer, d'un alliage fe/ni/cr et d'inp par un laser n#2 a faible flux. La caracterisation de l'interaction laser-materiau presente un interet dans le cadre du developpement de nombreux procedes laser (elaboration de couches minces, gravure, analyse). L'etude consiste en la caracterisation des proprietes du jet de particules neutres et ionises produit (vitesse, temperature)


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Annexes : 79 REF

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université d'Orléans. Service commun de la documentation.Section Sciences.
  • Accessible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.