Etude des mecanismes d'echauffement de l'anode porte-substrats dans une decharge de pulverisation d'iode-continu. Influence de la temperature et de la polarisation du substrat sur l'elaboration de couches minces de nitrure de titane

par DENIS MAHEO

Thèse de doctorat en Chimie

Sous la direction de Jean-Marc Poitevin.

Soutenue en 1991

à Nantes .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Nous etudions l'influence des parametres d'une decharge de pulverisation diode-continu sur la quantite d'energie transferee a l'anode porte-substrats. Le cas d'une polarisation negative de l'anode est envisage. Le bombardement des substrats par les electrons et les ions issus de la decharge fait l'objet de developpements particuliers. La temperature d'equilibre des substrats est egalement mesuree. Nous examinons l'action conjuguee d'une polarisation negative du substrat et de la temperature de substrat pendant le depot sur l'elaboration de couches minces de nitrure de titane obtenues par pulverisation reactive. L'analyse par diffraction x permet de preciser la valeur du parametre de maille, les orientations preferentielles et la taille des cristallites. La morphologie des depots est examinee par microscopie electronique a balayage. Les resultats relatifs a la composition ont ete acquis par retrodiffusion de particules alpha, par microanalyse x et par spectroscopie de la photoelectrons. La resistivite electrique des films a ete reliee a la concentration en impuretes et a la microstructure


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 217 p
  • Annexes : 249 REF

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Nantes. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 91 NANT 2040
  • Bibliothèque : Université de Nantes. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 91 NANT 2040
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.