Etude de l'acidité des matériaux photosensibles utilisés en microlithographie : application aux polymères phénoliques et aux composés diazonaphtoquinones

par Didier Demattei

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux. Polymères, interfaces, états amorphes

Sous la direction de MARC ABADIE.

Soutenue en 1991

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    L'acidite et la variation d'acidite des materiaux utilises en microlithographie constituent un des concepts de base permettant d'expliquer le comportement des reines photosensibles lors des differentes etapes du processus lithographique. Une revue bibliographique fait le point sur ce sujet. Apres la synthese des produits necessaires a la suite des etudes, l'analyse par potentiometrie et colorimetrie des systemes phenoliques-diazanaphtoquinone permet d'aborder de facon nouvelle et originale les mecanismes chimiques dans les procedes lithographiques

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  • Détails : 199 f

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  • Cote : TS 91.MON-217
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