Méthodologie de sélections de colorants pour microlithographie : application aux systèmes bicouches PMMA et PMGI

par Gilles Amblard

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux. Polymères, interfaces, états amorphes. Physique - Chimie de la matière condensée

Sous la direction de Bernard Boutevin.

Soutenue en 1991

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Le sujet de cette these est l'elaboration d'une methodologie de selection de colorants pour microlithographie, et leur application aux systemes bicouches pmma et pmgi. Le premier chapitre fait l'etat de l'art en microlithographie, en presentant successivement les differentes techniques d'insolation et les resines de masquage. Les problemes rencontres apres plusieurs niveaux lithographiques, lorsque la topographie des substrats devient accidentee, sont ensuite abordes, ainsi que les solutions proposees: systemes multicouches et silylation. Au cours du second chapitre, deux systemes bicouches type pcm pour insolations en uv proches, sont elabores, l'un avec de la hpr 204 (melange de resine novolaque et de diazonapthoquinone) sur du pmma, l'autre avec une resine photosensible a matrice novolaque sur du pmgi. Les resultats obtenus sur substrats moderement reflechissants sont bons (motifs microniques): par contre, des problemes subsistent sur aluminium, en raison de la forte reflectivite pour les photons de ce materiau. La solution proposee consiste a integrer des substances absorbant les photons parasites dans la couche d'aplanissement des systemes bicouches. Le sujet principal de cette these est ainsi aborde au troisieme chapitre: une methodologie de selection de colorants est elaboree, et appliquee aux bicouches pmma et pmgi. L'etude porte sur un grand nombre de colorants commerciaux, et les deux meilleurs candidats ainsi selectionnes pour chaque bicouche, sont evalues sur substrat aluminium avec marches: les resultats obtenus sont tres satisfaisants, permettant l'obtention de resolutions microniques, avec un procede original et peu onereux

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  • Détails : 168 p
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  • Cote : TS 91.MON-204
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