Contribution à l'étude du système Al-O-N par dépôt chimique en phase gazeuse

par Bernard Aspar

Thèse de doctorat en Chim. des matér. (Matér. pour la microélectronique et la microionique)

Sous la direction de BENIGNO ARMAS.

Soutenue en 1991

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Le systeme al-o-n est etudie, par depot chimique en phase gazeuse, a partir des vecteurs gazeux suivants: nh#3, n#2o, al(ch#3)#3 ou bien alcl#3. Pour les systemes formes a partir des deux precurseurs d'aluminium, une etude thermodynamique previsionnelle a mis en evidence l'influence des parametres preponderants sur l'equilibre. L'etude experimentale a permis d'obtenir le nitrure d'aluminium, l'oxynitrure d'aluminium spinelle et l'alumine corindon. L'examen approfondi de la morphologie des depots d'aln a montre l'influence de l'hydrogene sur la croissance cristalline et par consequent sur la compacite. L'interface aln-sic a fait l'objet d'une analyse particuliere par spectrometrie auger. Par introduction progressive de n#2o dans le melange gazeux, nous avons mis en evidence la possibilite d'obtenir du nitrure d'aluminium cristallise contenant une quantite importante d'oxygene. Des depots d'oxynitrure d'aluminium sont egalement synthetises. L'analyse par microdiffraction electronique a revele un depot constitue de microcristaux de structure spinelle. La stabilite de ces depots elabores a 1000c est confirmee par recuit. A partir d'un melange sans nh#3, des revetements d'al#2o#3, sont obtenus

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Informations

  • Détails : [3] f., [24], 123 p., [81] p. de pl

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