Réalisation et caractérisation de films minces de phosphate d'aluminium déposés sur substrat de silicium par la technique du pyrosol

par Sylvie Daviero

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Etienne Philippot.

Soutenue en 1991

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Des couches minces de phosphate d'aluminium ont ete deposees sur des substrats de silicium, par le procede pyrosol, afin de realiser des depots dielectriques. Ces films ont ete caracterises par microscopie electronique, microsonde electronique, diffraction des rayons x et spectroscopie infra-rouge pour determiner leur composition et leur composition et leur structure. Ces mesurs ont ete completees par des mesures de conductivite en courant alternatif et en courant continu. L'approche structurale a ete approfondie par des analyses de spectroscopie d'absorption des rayons x:xanes et exafs. Les couches minces realisees sont amorphes et possedent une resistivite de 10#1#0 cm par rapport a 10#2#2 cm dans le materiau massif. Nous avons utilise le modele de conduction en courant alternatif, cbh (correlated barrier hopping), qui nous a permis de mettre en evidence les defauts mis en jeu dans le phenomene de conduction. En accord avec leur structure caracterisee par exafs et xanes, la resistivite des depots depend directement de leur teneur en oxygene

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  • Détails : 163 p

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  • Cote : TS 91.MON-180
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