Etude de la génération du piégeage interne dans le silicium par tomographie laser à balayage

par Tiana Rakotomavo

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes

Sous la direction de Jean-Pierre Fillard.

Soutenue en 1991

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    Dans le cadre d'une etude sur le mecanisme de condensation de l'oxygene dans le silicium, une technique de caracterisation nouvelle, la tomographie laser a balayage a ete utilisee. Elle s'est revelee tres bien adaptee pour suivre l'evolution du processus de formation des precipites d'oxyde, etape importante dans la technique du piegeage interne. Sa non destructivite, sa capacite d'observation tridimensionnelle, sa sensibilite et sa rapidite conferent un large avantage sur les autres methdoes d'analyse


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  • Détails : 131 f

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  • Cote : MF-1991-RAK
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