Conduction électrique dans les couches minces polysilicium implantées bore et dans les couches d'inversion à potentiel modulé

par Abdelmajid Almaggoussi

Thèse de doctorat en Milieux denses et matériaux

Sous la direction de JEAN LOUIS ROBERT.

Soutenue en 1991

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Le manuscrit est divise en deux parties: 1) la premiere partie presente une etude comparative des proprietes electriques des couches polysilicium implantees bore et recuites soit de facon conventionnelle (rtc), soit de facon rapide (rr). Cette etude a permis de mettre en evidence l'existence de joints de grain electriquement inactifs dans le cas du recuit rapide isotherme; 2) la deuxieme partie presente une caracterisation electrique de transistors mos-hall irradies aux electrons. L'irradiation a ete faite suivant un reseau de traits paralleles et perpendiculaires a la direction drain-source de facon a obtenir un profil de potentiel proche de celui du materiau polycristallin idealise. Cette etude a constitue une approche quantitative de la conduction electrique dans les semiconducteurs polycristallins

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  • Détails : [7] f., 157 p
  • Annexes : Notes bibliogr

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  • Cote : TS 91.MON-089
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