Ellipsometrie cinetique sur substrats inp dans un reacteur h. V. P. E. Realisation d'un ellipsometre spectroscopique pour la caracterisation des heterostructures

par Younès EL YOUNOUSSI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Robert Cadoret.

Soutenue en 1991

à Clermont-Ferrand 2 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    L'ellipsometrie est une methode optique de caracterisation non destructive basee sur le changement de polarisation de la lumiere apres reflexion sur l'echantillon. Pour caracteriser les heterostructures multicouches a base de semiconducteurs iii-v: inp, gainas et inas, nous avons realise un ellipsometre spectroscopique a analyseur tournant completement automatique pilote par un micro-ordinateur ibm xt 286. Ainsi nous avons developpe un logiciel puissant qui permet: le reglage de l'appareil; la prise des mesures ellipsometriques pour chaque longueur d'onde; la modelisation de ces mesures par la theorie; par la methode de minimisation du gradient conjugue, confronte les resultats experimentaux et theoriques pour donner les parametres caracteristiques de chaque couche de l'heterostructure multicouches: l'epaisseur, la composition et les indices optiques. Aussi nous avons etudie le recuit thermique des substrats inp dans un reacteur d'epitaxie dans la phase vapeur par la methode des hydrures (h. V. P. E. ) dans trois conditions: sous-phosphine; sous-phosphine/arsine; sous chlorures d'indium. Nous avons donc optimise les conditions de montee et descente en temperature sans que le substrat ne se degrade. Ces etudes ont ete menees a l'aide de l'ellipsometre cinetique monte directement sur le reacteur

  • Titre traduit

    Kinetic ellipsometry on inp substrates in h. V. P. E. Reactor. Carrying out of a spectroscopic ellipsometer aimed to heterostructures characterization


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  • Détails : 158 f.
  • Annexes : 69 REF

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  • Cote : Th. Clersc. 1991 ELY
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  • Disponible pour le PEB
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