Carbonitrures hydrogénés obtenus par dépôt chimique en phase vapeur assisté par un plasma réactif

par Martine Ricci

Thèse de doctorat en Chimie - Physique

Sous la direction de Pierre Delhaes.

Soutenue en 1991

à Bordeaux 1 .

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  • Résumé

    Grace a un dispositif de depot chimique en phase vapeur assiste par un plasma reactif, nous avons pu elaborer des materiaux dans des etats metastables. Une analyse des contraintes experimentales et plus particulierement une etude de l'influence des melanges gazeux precurseurs a permis de mette en evidence l'existence de trois types de depots: un carbone amorphe hydrogene, un pyrocarbone basse temperature et un carbonitrure hydrogene qui a montre la reactivite de l'azote et du methane des la temperature ambiante. Nous avons alors developpe la chimie sous plasma et l'aspect mecanismes reactionnels. Ensuite la structure et les proprietes physiques de ces carbonitrures hydrogenes ont ete etudiees grace a l'utilisation de techniques de caracterisation physico-chimiques. L'etude de la stabilite thermique a montre que la presence d'azote dans le film rend celui-ci infusible, thermostable et dur. Une modelisation de l'evolution structurale est faite en fonction des traitements thermiques permettant d'etablir une relation entre structure et proprietes

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  • Détails : [3], 122 p

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  • Cote : FT 91.B-644
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