Caracterisation non destructive des revetements superficiels : application du formalisme auger a la microanalyse par spectroscopie d'emission x

par Omar Jbara

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Jacques Cazaux.

Soutenue en 1990

à Reims .

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  • Résumé

    L'objet de l'etude concerne la caracterisation des revetements superficiels par emission x sous bombardement electronique (sonde de castaing). La methode preconisee permet de determiner localement la composition elementaire des revetements et leur epaisseur, ceci de facon non destructive. Au cours de cette etude nous avons utilise un formalisme derive de la spectroscopie auger pour expliquer la linearite entre les signaux caracteristiques emis par le revetement et son epaisseur et nous avons discute les limites d'application de ce formalisme. Cette caracterisation necessite des temoins stratifies d'epaisseurs connues. La precision sur les epaisseurs, souvent limitee par la statistique de comptage peut etre meilleure que 5%. L'obtention d'images caracteristiaue de comptage peut etre meilleure que 5%. L'obtention d'images caracteristique par balayage de la sonde combinee a une interpretation basee sur le formalisme auger nous a permis de realiser et de quantifier une profilometrie non destructive des revetements superficiels. La technique des diagrammes de correlation "scatter diagram" appliquee pour la premiere fois a de tels revetements, permet d'avoir des cartographies specifiques non seulement des differentes phases chimiques composant l'echantillon mais aussi des cartographies specifiques de l'epaisseur de ces revetements. La gamme des epaisseurs analysables s'etend du domaine accessible aux techniques d'analyse des surfaces (i. E. Aes) soit 5 nm ou moins jusqu'a la fraction du micrometre avec une resolution laterale inferieure au micron


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  • Annexes : 168 REF

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