Contribution à l'étude théorique et expérimentale de la phase gazeuse dans un réacteur de depot chimique

par Hassan Chehouani

Thèse de doctorat en Énergétique

Sous la direction de Benigno Armas.

Soutenue en 1990

à Perpignan .


  • Résumé

    Le depot chimique a partir d'une phase gazeuse est un procede qui suscite un grand interet pour l'industrie de demain. La plupart des applications existant au niveau industriel necessitent une connaissance approfondie des mecanismes physico-chimiques mis en jeu par ce procede. Notre contribution est l'etude theorique et experimentale de l'hydrodynamique et de la thermique de la phase gazeuse dans un reacteur de vapodeposition a paroi froide. Sur le plan experimental, nous avons utilise l'interferometrie holographique pour determiner la cartographie des temperatures dans le reacteur. Cette technique optique ne perturbe pas le milieu et offre un suivi en temps reel du comportement thermique de la phase gazeuse. Nous nous sommes attaches a l'amelioration du traitement de l'information contenue dans un interferogramme axisymetrique en utilisant un dispositif de traitement d'images pour augmenter la precision de la mesure et la rapidite de l'acquisition. Sur le plan theorique, nous avons propose un modele fonde sur la formulation et la resolution des equations de navier-stokes et de l'energie ecrites en formulation elliptique. Le code de calcul ainsi realise nous a permis d'avoir une description fine des ecoulements bidimensionnels et des champs de temperature et de vitesse en tout point du reacteur. Dans la derniere partie, nous avons confronte les previsions theoriques et experimentales. Ces comparaisons ont permis de valider le modele sur le plan thermique et ont montre que celui-ci etait un outil tout-a-fait adapte a la description de la thermique et l'hydrodynamique dans un reacteur de vapodeposition


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Informations

  • Détails : 1 vol. (180 p.)
  • Annexes : Notes bibliogr

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  • Bibliothèque : Université Perpignan Via Domitia. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH CHE 1990
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