Étude du comportement de différents filtres à très haute efficacité sous à-coups de pression

par Jocelyne Romaneix

Thèse de doctorat en Physique, chimie des aérosols et contamination

Sous la direction de André Renoux.


  • Résumé

    Notre travail a pour objectif d'ameliorer l'un des moyens en usage dans l'industrie de la micro-electronique pour reduire la contamination particulaire: la filtration au point d'utilisation des gaz purs employes pour les procedes de fabrication des semi-conducteurs. Dans un premier temps nous dressons un bilan de la qualite du gaz dans un reseau d'alimentation, realise a l'aide de differentes techniques d'analyse particulaire (techniques d'analyse de surface et compteurs de particules). Dans un second temps, nous proposons un banc de tests original qui simule le fonctionnement d'un equipement de production. Il nous permet de realiser differents a-coups de pression quantifiables et reproductibles et donc de tester des filtres a tres haute efficacite dans leurs conditions d'utilisation industrielle. A l'aide d'un compteur optique laser et d'un compteur a noyaux de condensation, nous etudions ainsi les comportements et les performances (vis-a-vis de l'aerosol atmospherique de la salle) de membranes et de ceramiques, vierges ou vieillies. Nos resultats mettent en evidence des differences de comportement essentiellement attribuees a la structure des media et a leurs pouvoirs de tampon vis-a-vis d'un choc de pression

  • Titre traduit

    Survey of the behaviour of differnet ultra high-efficiency filters under pressure variations


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  • Détails : 1 vol. (128 f.)
  • Annexes : Bibliogr. f. 118-124

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