Interaction, a temperature ambiante, de l'azote ionise avec la surface clivee propre de gaas

The room-temperature interaction of ionized nitrogen with the (110) face of gaas

• Auteur / Autrice : ABDELMALIK EL KHALKI
• Direction : SEBENNE
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Paris 6

Résumé

L'interaction a temperature ambiante, de l'azote ionise avec la surface (110) de gaas a ete etudiee par: spectroscopie des electrons auger, diffraction des electrons lents, spectroscopie de pertes d'energies d'electrons, spectroscopie de rendement de photoemission et spectroscopie de photoelectrons dans l'ultraviolet. Les surfaces, obtenues propres par clivage sous ultravide d'echantillons de type n et p, ont ete exposees a des doses progressivement croissantes d'ions dont l'energie ajustable etait le plus souvent de 15 ev. Des les plus faibles doses, les ions induisent un desordre tres important qui rend la surface heterogene et modifie ses proprietes photoemissives. L'evolution de la composition chimique superficielle et des proprietes electroniques de la surface (travail de sortie) energie d'ionisation, courbures de bandes, etats de bande de valence, niveaux 3d de ga et as) s'interpretent dans un modele d'interaction en deux etapes. Au cours de la premiere etape, jusqu'a une dose d'environ 10#1#5 ions/cm#2, l'azote reagit avec le gallium et le recouvrement apparent atteint correspond en moyenne a un atome n par maille de surface. Une courbure de bandes apparait sur les deux types de substrat avec un ancrage du niveau de fermi vers le milieu de la bande interdite. Aux doses plus elevees (superieures a 210#1#5 ions/cm#2), la deuxieme etape est caracterisee par la croissance d'une couche d'oxynitrure de gaas