Etude de la conduction electrique d'oxydes formes a la surface d'un alliage al-cu utilise en miroelectronique

par ABDELOIHAD ABBAS

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de M. CHEMLA.

Soutenue en 1990

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Les oxydes a la surface des metaux remplissent deux fonctions en microelectronique: l'isolation electrique et la protection contre la corrosion. Un compromis est recherche entre une meilleure protection contre la corrosion et une isolation electrique minimum. Pour l'investigation de cette dualite corrosion-passivation, nous avons etudie le transfert de charge electrique dans des structures metal/oxyde/electrolyte et metal/oxyde/metal. La mesure d'impedance complexe et le suivi du potentiel d'abandon appliques au systeme alcu/oxyde/electrolyte ont constitue une bonne approche pour evaluer les caracteristiques electrochimiques du film d'oxyde forme sur l'alliage avec ou sans traitement de surface. Des analyses physiques de surface par e. S. C. A. Et spectroscopie auger completent l'etude electrochimique. D'autre part, l'etude des systemes alcu/oxyde/metal a permis de caracteriser les modes de conduction de trois types d'oxyde a la surface de l'alliage alcu 4%


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  • Annexes : 114 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T Paris 6 1990 365
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1990
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