Epitaxie par jets chimiques d'heterostructures inp/ga#0#. #4#7in#0#. #5#3as

par LALLA FATIHA ALOUI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Georges Alquié.

Soutenue en 1990

à Paris 6 .

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  • Résumé

    L'epitaxie par jets chimiques (ejc), nouvelle methode de croissance, combine la majorite des avantages des deux techniques meres. L'epitaxie par organometalliques (eom) et l'epitaxie par jets moleculaires (ejm). Le travail presente dans ce manuscrit decrit et demontre experimentalement certains avantages offerts par cette technique d'epitaxie. De plus, cette etude constitue une premiere validation de cette methode de croissance par l'obtention, dans le systeme de semiconducteurs inp/gainas, de couches pures, de structures a puits quantiques et de composants d'emission laser. L'equipement experimental mis au point et son optimisation, notamment de la partie d'introduction des sources gazeuses, sont d'abord presentes. L'etude porte essentiellement sur l'optimisation des conditions de croissance des composes gaas, gainas et inp, pour surtout minimiser l'incorporation du carbone qui apparait etre l'impurete residuelle majoritaire. Des couches inp avec un dopage intrinseque aussi faible que 2 10#1#4 cm##3 et une mobilite de 112000 a 77 k ont aussi ete obtenues. Un modele pour expliquer l'incorporation observe au carbone et son activite electrique dans ces differents semiconducteurs en fonction de la temperature de croissance et du rapport v/iii est aussi discute. L'incorporation volontaire d'impuretes dopantes de type n (si) et p (be) evapores a partir de sources solides est aussi etudie. Les potentialites de la technique sont enfin demontrees par l'epitaxie sans interruption de croissance aux hetero-interfaces de structures inp/gainas aussi minces que 12 a et celle des doubles heterostructures laser avec un courant de seuil de 1,3 ka/cm#2

  • Titre traduit

    Chemical beam epitaxy of inp/ga#0#. #4#7in#0#. #5#3as heterostructures


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  • Annexes : 128 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : T Paris 6 1990 10
  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T Paris 6 1990 10
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1990
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