Modélisation des décharges radiofréquence en régime collilsionnel

par Philippe Belenguer

Thèse de doctorat en Physique, gaz plasmas

Sous la direction de Henri Brunet.

Soutenue en 1990

à Nancy 1 , en partenariat avec Université Henri Poincaré Nancy 1. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Ce travail présente, par le biais de la modélisation numérique, les propriétés fondamentales des décharges radiofréquence en régime collisionnel. Après un résumé des différentes étapes de fabrication d'un circuit intégré, dans lesquelles intervient la technologie plasma, nous présentons les diverses voies de modélisation des décharges, en nous attachant, tout particulièrement, à décrire les modèles fluides et mixtes (fluide-Monte Carlo) qui ont été utilisés dans ce travail. L'étude de quelques cas particulier nous permet d'illustrer les propriétés générales des décharges radiofréquence, en définissant le rôle des paramètres caractéristiques des décharges tels que la fréquence, la pression, la puissance ou la distance interélectrode. Les mécanismes d'entretien et de dépôt d'énergie sont ensuite analysés en fonction du régime de fonctionnement de la décharge. Enfin, à partir des résultats fournis par les modèles, nous établissons quelques lois d'échelle simples pouvant être utiles à l'utilisateur de décharges radiofréquence


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Informations

  • Détails : 1 vol. (182 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 179-182

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  • Bibliothèque : Université de Lorraine (Villers-lès-Nancy, Meurthe-et-Moselle). Direction de la Documentation et de l'Edition - BU Sciences et Techniques.
  • PEB soumis à condition
  • Cote : SC N1990 64
  • Bibliothèque : Université de Lorraine (Villers-lès-Nancy, Meurthe-et-Moselle). Direction de la Documentation et de l'Edition - BU Sciences et Techniques.
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