Modelisation des decharges radiofrequence en regime collisionnel

par PHILIPPE BELENGVER

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean-Pierre Boeuf.

Soutenue en 1990

à Nancy 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail presente, par le biais de la modelisation numerique, les proprietes fondamentales des decharges radiofrequencer en regime collisionnel. Apres un resume des differentes etapes de fabrication d'un circuit integre, dans lesquelles intervient la technologie plasma, nous presentons les diverses voies de modelisation des decharges, en nous attachant, tout particulierement, a decrire les modeles fluides et mixtes (fluide monte carlo) qui ont ete utilises dans ce travail. L'etude de quelques cas particuliers nous permet d'illustrer les proprietes generales des decharges radiofrequence, en definissant le role des parametres caracteristiques des decharges tels que la frequence, la pression, la puissance ou la distance interelectrode. Les mecanismes d'entretien et de depot d'energie sont ensuite analyses en fonction du regime de fonctionnement de la decharge. Enfin, a partir des resultats fournis par les modeles, nous etablissons quelques lois d'echelle simples pouvant etre utiles a l'utilisateur de decharges radiofrequence


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  • Annexes : 69 REF

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