Etude de la morphologie des couches minces de MgO utilisables en haute température

par Soloniaina Rakotomiraho

Thèse de doctorat en Sciences

Sous la direction de EDMOND GROUBERT.

Soutenue en 1990

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    La morphologie des couches minces de mgo deposees par evaporation thermique reactive au canon a electrons depend fortement des parametres que sont la temperature du substrat ts et la pression d'oxygene po#2. La microstructure et la morphologie ont ete determinees par diffraction des rayons x, et par microscopie electronique a balayage. L'augmentation de la pression d'oxygene a pour effet global de reduire l'orientation preferentielle <111> au profit d'autres directions plus caracteristiques de la structure cristalline du mgo. L'augmentation de la temperature du substrat a 600#oc favorise la presence de la direction <222> et l'augmentation des dimensions des grains. Nous avons ainsi defini: 1) une morphologie colonnaire ouverte a ts faible; 2) une morphologie fibreuse fermee a moyenne ts; 3) et une morphologie dense a structure cristallisee a ts elevee. La caracterisation optique de ces morphologies se heurte a une double difficulte. Le calcul de l'indice de refraction a partir de la reflectivite exige un modele de structure. La non-stchiometrie a basse pression d'oxygene et de l'oxydation du substrat. Mo a haute temperature superposent leurs effets a ceux de la morphologie. Ceci rend difficile l'interpretation de l'evolution de l'indice de refraction en fonction des conditions de depot


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  • Cote : TS 90.MON-260
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