Microcaractérisation de matériaux de la microélectronique utilisant la méthode de la signature acoustique V(z)

par Christine Amaudric du Chaffaut

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes

Sous la direction de Jacques Attal.

Soutenue en 1990

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    L'objectif de ce travail est de valider l'emploi de la microscopie acoustique a la caracterisation des composants microelectroniques depuis le premier stade de leur elaboration jusqu'a leur encapsulation finale. Plusieurs microscopes ont ete developpes dans la gamme 50 a 600 mhz pour repondre aux exigences de la grande disparite des proprietes mecaniques des differents materiaux et structures situes en surface comme en profondeur. Les resultats obtenus permettent de conclure a l'interet du developpement d'un instrument specifique a la microelectronique

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  • Détails : 94 f
  • Annexes : Bibliogr.: f. 84-90

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  • Cote : TS 90.MON-155
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