Etude des phénomènes de surface et d'interface au cours de la croissance de couches minces de métaux nobles (Au, Ag, Cu) sur des surfaces réelles (100) de silicium et de germanium

par Fathi Ben Mansour

Thèse de doctorat en Composants, signaux, systèmes

Sous la direction de Gérard Lévêque.

Soutenue en 1990

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Ce travail presente une etude, par spectroscopie des electrons auger (aes), des interfaces entre les metaux nobles (au, ag, cu) et le silicium et germanium. Les depots ont ete effectues a basse temperature et a temperature ambiante, sur des surfaces (100), soit amorphisees par bombardement ionique, soit recouvertes d'une couche d'oxyde native et de contaminants. L'analyse des intensites auger a permis de determiner la morphologie des couches deposees. Ces resultats sont confrontes a des modeles theoriques de croissance des couches minces et aux donnees de la litterature concernant la croissance de ces metaux sur des surfaces propres ordonnees. Des decapages ioniques des couches ultraminces (2-20 a) effectues juste apres leur depot ont permis de tester les hypotheses relatives a la morphologie des interfaces. Les simulations theoriques de l'intensite auger nous ont montre que les phenomenes de retrodiffusion et de transfert d'electrons de valence peuvent amener des erreurs non negligeables dans l'analyse quantitative des resultats des couches minces. Nos resultats sur des surfaces bombardees sont voisins de ceux observes sur des surfaces clivees (111): l'interface est diffuse avec l'or, abrupte avec l'argent et il se forme des composes definis avec le cuivre. Pour les surfaces reelles, les couches d'oxyde natif de si ou ge sont generalement recouvertes sans modification par les couches successives de metal. Dans le cas de l'argent et du cuivre, les gaz residuels de l'enceinte de preparation peuvent modifier les mecanismes de croissance

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Informations

  • Détails : [2] f., [8], 220 p
  • Annexes : Notes bibliogr. regroupées p. 205-220

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  • Cote : TS 90.MON-130
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