Etude d'un système de masquage pour microlithographie sensible en UV profond et développable par plasma d'oxygène

par Marc Servera

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de François Schué.

Soutenue en 1990

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    Un nouveau systeme de masquage pour microlithographie, sensible en uv profonde, a ete etudie. Sa composition originale fait intervenir un polymere methacrylique modifiable par acidolyse photoamorcee en presence de tosylate de benzoine. Cette resine est developpable en negatif par voie humide, en positif par plasma d'oxygene apres mise en uvre d'un procede de silylation selective. L'evaluation des performances microlithographiques a demontre dans les deux cas la faisabilite d'une resolution submicronique

  • Titre traduit

    Study of a deep uv sensitive system for microlithography designed for dry development


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  • Détails : 217 p
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