Contribution à l'étude semi-quantitative de semi-conducteurs par microsonde à impact laser

par Isabelle Massot

Thèse de doctorat en Chimie-physique

Sous la direction de Jean-François Muller.

Soutenue en 1990

à Metz .


  • Résumé

    Dans le domaine des techniques d'analyse de surface, la microsonde à impact laser lamma possède des capacités analytiques tout à fait intéressantes: ponctualité, rapidité et simplicité des analyses (pas de préparation d'échantillon pour la microsonde lamma 1000), analyse de toutes sortes d'échantillons solides, détection de tous les ions d'une même polarité sans limitation de masse, bonne sensibilité de détection. Une grande partie du travail effectué au cours de cette thèse a été consacrée au développement instrumental de la microsonde lamma 1000 de l'usine IBM France de Corbeil-Essonnes, de telle sorte que les résultats issus de cet équipement sont depuis tout à fait fiables et reproductibles. Ainsi, les améliorations apportées permettent maintenant de disposer d'un équipement à hautes performances, qui mérite enfin le terme de microsonde qui lui est généralement appliqué. Les possibilités d'analyse qualitative ont été démontrées par l'étude d'échantillons constitués de silicium, d'oxyde de silicium et de nitrure de silicium. Pour chacun d'eux, des spectres de masse caractéristiques ont été établi et permettent maintenant l'identification rapide et sans aucune ambiguïté de ces 3 matrices par microsonde lamma 1000. Les possibilités d'analyse semi-quantitative, par microsondes lamma 500 et lamma 1000, ont été démontrées par le dosage du bore et de l'arsenic dans le silicium ainsi que par le dosage du bore et du phosphore dans l'oxyde de silicium. Les limites de détection ont été estimées dans une matrice de silicium à environ 50 pppm (en poids) pour le bore et à environ 600 ppm (en poids) pour l'arsenic. Cette estimation a été rendue possible par le développement d'une méthode, unique en son genre, permettant l'estimation du volume de matière sublimée (de l'ordre de quelques m#3 seulement!) Par la détermination précise (à 0,1 m près) de la profondeur des impacts laser

  • Titre traduit

    Contribution to semi-quantitative study of semi-conductors by laser microprobe


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Informations

  • Détails : 1 vol. (167 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. f. 161-167

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  • Cote : 1990METZ019S
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