Etude fondamentale et appliquée des mecanismes de transport en Pulverisation Cathodique Magnétron

par Felicito S. Caluyo

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean Machet.


  • Résumé

    L'étude théorique et appliquée des mécanismes de transport des atomes pulvérisés dans les dispositifs de pulvérisation cathodique magnétron fait l'objet de ce mémoire

  • Titre traduit

    Fundamental and applied study of transport mechanisms in Magnetron Cathodic Sputtering


  • Résumé

    This study deals with the transport mechanisms of sputtered atoms in Magnetron Cathodic Sputtering

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Informations

  • Détails : 264 p. p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 263-264

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
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