Reaction en phase gazeuse dans une post-decharge en ecoulement conduisant a la synthese de nitrure de silicium

par DOMINIQUE CONTE

Thèse de doctorat en Chimie

Sous la direction de Alain Catherinot.

Soutenue en 1990

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail est relatif a l'etude et a la modelisation des cinetiques de reaction intervenant dans un melange ar-sih#4-h#2 en post-decharge en ecoulement. Dans une premiere partie, apres une etude bibliographique des especes a longue duree de vie de l'azote, nous avons etalonne et mesure par spectrometrie de masse, les densites des especes n, sih#4, sih#2 et nh#2 pour differentes conditions experimentales. Puis par identification entre ces valeurs experimentales des densites et celles calculees par un modele de cinetique de reaction, nous avons determine les constantes de reactions suivantes: 1) 1,410##1#6 m#3/s pour la reaction entre n(#4s) et sih#4; 2) 11,310##1#6 m#3/s pour la reaction entre n(#4s) et sih#2; 3) 7,310##1#6 m#3/s pour la reaction entre n(#4s) et nh#2. La deuxieme partie de ce travail debute par la determination de grandeurs thermodynamiques (enthalpie, chaleur specifique, fonctions de partition) pour les differentes especes presentes en zone de post-decharge. Ces grandeurs thermodynamiques permettent de proposer un modele de cinetique de reaction dans les cas d'une decharge micro-onde et celui de la pyrolyse du silane. Enfin, dans une troisieme partie, nous presentons deux cas d'applications d'un systeme de post-decharge en ecoulement dans un melange ar-sih#4-n#2 la realisation de couches minces et de poudres de nitrure de silicium

  • Titre traduit

    Reaction in gas mixture in a flowing post-discharge leading to the silicon nitride synthesis


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Annexes : 107 REF

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université de Limoges. Service Commun de la Documentation. Bibliothèque Universitaire de l'ENSIL-ENSCI.
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.