Etude du transport des especes dans le panache plasma cree lors de l'interaction entre divers types de lasers (i. R. , visible, u. V. ) et de materiaux (metaux, polymeres, ceramiques oxydes)

par Catherine Girault

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Alain Catherinot.

Soutenue en 1990

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .

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  • Résumé

    Ce travail, concernant l'etude du transport des especes dans le plasma cree lors de l'interaction laser-materiau, comporte trois parties principales: la premiere est relative a l'analyse du milieu plasma cree par un rayonnement laser a 530 nm (yag a 2w) et 10600 nm (co#2) au-dessus d'un substrat metallique de titane. Apres la presentation d'un modele simple permettant d'apprecier la vitesse d'ejection de la matiere et decrivant la creation d'un plasma au-dessus d'une surface en cours de vaporisation, nous developpons les resultats d'une etude experimentale approfondie par spectroscopie d'emission resolue en temps des phenomenes de creation/disparition du plasma. Une correlation est etablie entre ces observations spectroscopiques et les resultats du modele, permettant d'aboutir a des hypotheses sur les phenomenes majoritaires qui regissent l'interaction, l'influence de la longueur d'onde a laquelle s'effectue l'irradiation etant plus particulierement mise en evidence. Dans la deuxieme partie, ces travaux sont etendus a une longueur d'onde plus courte (248 nm) et a un nouveau type de materiaux: les polymeres. Nous exposons les resultats obtenus sur les seuils d'ablation et vitesses de gravure du polymethylmethacrylate en montrant l'influence sur ces parametres d'un recuit prealable a l'irradiation des echantillons. Cette etude est completee par le diagnostic spectroscopique du panache d'interaction qui apporte des elements d'information sur sa composition, sa temperature, sa densite electronique et sur les vitesses d'ejection des produits d'ablation. Enfin, dans la troisieme partie consacree au diagnostic du panache plasma cree lors de la pulverisation par un laser a excimeres krf d'une cible supraconductrice massive de type ybacuo ou bisrcacuo, nous nous sommes attaches a developper la comprehension d'un des points-cles de cette technique d'elaboration de couches minces, a savoir le tr

  • Titre traduit

    Study of species transport in the plasma plume created at the time of the interaction between various lasers (i. R. , visible, u. V. ) and materials (metals, polymers, ceramic oxides)


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Informations

  • Annexes : 110 REF

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  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
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