Etude des effets des traitements thermiques rapides et conventionnels dans les silicium polycristallins par analyse du courant induit par faisceau laser

par KHALED MASRI

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de André Laugier.

Soutenue en 1990

à Villeurbanne, INSA .

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  • Résumé

    Nous avons simule les profils du courant induit par faisceau laser (lbic) au voisinage d'un joint de grains et d'une jonction parallele a la surface en utilisant les modeles de marek et ioannou. Nous pouvons alors determiner la vitesse de recombinqison v#s au joint et la longueur de diffusion l dans les grains. Ces deux modeles ont ete appliques pour etudier l'evolution de l'activite electrique des bicristaux sigma 9 et 13 avec les differents traitements thermiques. Sigma 9 reste toujours inactif. Par contre, sigma 13 devient actif apres un traitement de 24 h a 850 c. Une augmentation de v#s avec la polarisation inverse de l'echantillon a ete observee, ce qui confirme la presence d'une barriere de potentiel au joint. D'autre part, nous avons suivi l'evolution de l dans le silicium polycristallin "polix" pendant le processus de fabrication de cellules solaires. Une nette amelioration (80%) a ete observee apres la formation de la jonction. Un autre phenomene remarquable est l'augmentation de l apres le depot de la couche antireflet. Ceci a ete interprete par la segregation de titane aux dislocations, via les liaisons ti-o. L'influence des differentes conditions de recuit rapide isotherme sur l a ete aussi etudiee. Nous avons observe, pour toutes les temperatures sauf 400 et 500 c, une degradation de l suivie par un effet de restauration. Seuls les recuits a 400 et 500c n'ont pas d'effet nefaste sur l. Ce travail a ete complete par la realisation de cartographies numeriques, en fausses couleurs, mettant en evidence les variations locales des proprietes de transport


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  • Annexes : 119 REF

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