Conception et réalisation d'un capteur interférométrique de déplacement intégré sur substrat silicium et connecté par fibres optiques

par Catherine Erbeia

Thèse de doctorat en Optoélectronique

Sous la direction de Germain Chartier.

Soutenue en 1990

à Grenoble, INPG .

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  • Résumé

    Cette etude avait pour but de demontrer la faisabilite d'un nouveau capteur de deplacement optique integre interferometrique, pouvant etre connecte par des fibres optiques monomodes, voire multimodes. La technologie mise en uvre au niveau du circuit optique utilise une structure multicouches epaisse, developpee specialement au laboratoire pour la connectique par fibres. Cette structure presente l'avantage d'etre insensible a l'etat de polarisation de la lumiere s'y propageant. Pour tenir compte de la specificite de cette nouvelle filiere technologique, une approche totalement nouvelle du circuit interferometrique integre a ete necessaire. Dans un premier temps, nous avons effectue une etude complete des composants optiques de base a integrer dans le circuit, conduisant a la definition des differents niveaux de masques utilises pour sa realisation technologique. Les problemes de connexion entre le circuit optique et les fibres d'entree et de sortie sont aussi etudies en detail. Dans un second temps, la caracterisation des circuits realises nous a permis de demontrer leur faisabilite, tout en mettant en evidence un certain nombre de problemes a resoudre pour ameliorer leurs performances. Nous nous sommes tout particulierement attaches a la stabilisation de la reponse du circuit, et, a cette fin, de nouveaux composants integres faisant fonction de filtres spatiaux ont ete definis. Le probleme de retour de lumiere (feedback) vers la diode laser est aussi aborde, et des solutions de modules pigtailes diode-fibre sont proposes. Nous presentons enfin, une version amelioree du capteur

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  • Détails : 1 vol. (212 p.)

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Cote : TS 90/INPG/0064
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