Etude des proriétés électroniques de couches ultra minces de silice anodique : influence de la température de recuit

par Bécharia Nadji

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de François Gaspard.

Soutenue en 1990

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .


  • Résumé

    Des couches ultra-minces de silice ont ete preparees par oxydation anodique du silicium dans l'eau pure, a temperature ambiante. Des capacites mos mettant en jeu de tels oxydes ont ete realisees en utilisant les techniques conventionnelles de la microelectronique. Afin d'etudier les proprietes de ces structures et l'influence de la temperature de recuit, nous avons utilise les differentes techniques de caracterisation telles que l'analyse des courbes c(v) quasi statique ou la methode de la conductance. Les resultats obtenus montrent de facon convaincante que l'oxydation anodique permet d'obtenir des oxydes minces ayant de bonnes proprietes electriques a partir de 600#oc. Aux champs forts la conduction est dominee par le mecanisme tunnel de fowler-nordheim. La valeur de la hauteur de barriere a l'interface al/sio#2 obtenue apres correction de l'effet schottky est de 3,1 ev. L'etude de la vitesse de dissolution de l'oxyde anodique dans hf a mis en evidence la structure poreuse des oxydes anodiques et l'effet de restructuration et densification qui accompagne la phase de recuit

  • Titre traduit

    Study of electronic properties of very thin anodic silica layers. Influence of annealing temperature


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 148 p

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 90/GRE1/0008
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Accessible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.