Adaptation de techniques analytiques au contrôle de la fabrication de couches iono-sensibles : Application aux capteurs chimiques de type ISFET et insertion de ces capteurs dans la techniques FIA (Flow-Injection-Analysis)
par Yolanda Herrera-Duvault
Thèse de doctorat en Dispositifs de l'électronique intégrée
Sous la direction de Nicole Jaffrezic-Renault.
Soutenue en 1990
à l'Ecully, Ecole centrale de Lyon , en partenariat avec Laboratoire de physique chimie des interfaces (Ecully, Rhône) (laboratoire) .
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Résumé
Des membranes ionosensibles de capteurs isfet peuvent etre obtenues par greffage chimique de fonctions organiques sur l'isolant. La fabrication de ces membranes doit etre optimisee. La taille reduite de la partie sensible des isfet (1. 10##8 m#2) limite le choix des techniques et oblige a utiliser des substrats modeles: heterostructures si/sio#2 et silicium poreux oxyde. Trois techniques d'analyse ont ete utilisees: la spectroscopie de photoelectrons x (xps), l'analyse par activation neutronique (naa) et la chromatographie en phase gazeuse. Nous avons pu definir ainsi: 1) le protocole de preparation et de decontamination de l'oxyde, 2) la cinetique de formation des groupes -oh, a la surface de la silice, 3) les parametres qui determinent l'obtention des couches denses et reproductibles (temperature de greffage, volatilite et type de reactif), 4) une relation entre la reponse electrique v#b#p/ph en fonction du nombre de sites -oh disponibles a la surface et de l'hydrophobicite de la phase greffee. Enfin, au niveau des applications, l'adaptation d'un isfet ph comme detecteur a ete realisee pour un systeme d'analyse en flux continu (f. I. A. ) pour la mesure du ph et le dosage des ions ammoniums dans l'eau des rivieres
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Titre traduit
Analytical control of ion-selective membranes fabrication, for isfets chemical sensors. Application of this sensors in a flow injection analysis (fia)
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