Epitaxie du ternaire ga#0#. #1#8in#0#. #8#2as sur inp : etude du materiau relaxe et contraint

par SOPHIE DUREL PAVEC

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ANDRE FORTINI.

Soutenue en 1990

à Caen .

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  • Résumé

    Les materiaux desaccordes, contraints ou relaxes, font actuellement l'objet d'etudes intensives. Dans ce travail, nous nous sommes interesses au ternaire ga#0#. #1#8in#0#. #8#2as epitaxie sur inp. Ce materiau presente un desaccord de maille de 2% avec le substrat. Les couches ont ete realisees a l'aide de la technique d'epitaxie par jets moleculaires avec sources hydrures. L'etude comprend deux parties: 1) materiau relaxe: nous avons montre l'interet d'une couche intermediaire de composition graduelle, ainsi que l'influence de son epaisseur et de la temperature de croissance. Les dislocations dues a la relaxation du materiau epitaxie se situent essentiellement dans cette couche intermediaire et sont organisees en un reseau de verrous de lomer. Dans la couche active ga#0#. #1#8in#0#. #8#2as, la densite de dislocations est alors de 4. 10#6 cm#2# (comparable a la densite observee dans gaas/si); 2) materiau contraint: la determination de l'epaisseur critique a ete faite a partir de l'etude de puits de ga#0#. #1#8in#0#. #8#2as d'epaisseurs comprises entre 18 et 120 a et separes par des barrieres d'inp. La caracterisation de ces echantillons en microscopie electronique par transmission et en luminescence resolue en temps permettent de conclure que l'epaisseur critique est comprise entre 40 et 64 a. L'etude en photoluminescence a t=2k a confirme ce resultat. Cette valeur est superieure a l'epaisseur critique calculee par le modele de matthews a l'equilibre thermodynamique, ceci pouvant etre attribue a une metastabilite du materiau. On note que cet ecart a l'equilibre depend fortement de la temperature de croissance


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  • Annexes : 90 REF

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