Mesures de déflexion photothermique pour l'étude de la propagation guidée dans les couches minces : étude théorique et expérimentale de l'atténuation

par Xu Liu

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes. Composants électroniques et optiques

Sous la direction de Émile Pelletier.


  • Résumé

    On utilise la technique de la deflexion photothermique pour mesurer les pertes par absorption dans une structure guidante constituee d'une couche ou d'un empilement de couches deposees sur un substrat plan. En effectuant cette mesure en differents points le long de la direction de propagation d'un faisceau guide on accede a la loi de vairiation de l'intensite du flux lumineux. L'attenuation du mode guide depend de trois facteurs qui sont respectivement: l'absorption intrinseque dans le materiau, la diffusion par les irregularites des surfaces, ainsi que la diffusion qui trouve son origine dans les defauts de structure ou heterogeneites d'indice dans la couche guidante. On cherche dans quelle mesure il est possible d'etudier separement les consequences de chacun des mecanismes a l'origine des pertes pour preciser l'influence relative de chacun d'eux. Les calculs des pertes par absorption ne soulevent pas de difficultes. En ce qui concerne le calcul des consequences des rugosites des surfaces et des heterogeneites d'indice responsables des pertes par diffusion, on a utilise la theorie de marcuse. On presente les resultats de quelques mesures concernant l'attenuation pour differents modes te et tm sur des guides constitues par des couches de ta#2o#5. La confrontation de la theorie avec l'experience est mise en uvre pour determiner le coefficient d'extinction et les pertes par diffusion de chacun des echantillons etudies. Souvent pour realiser des couches de performances optimales, on est amene a leur faire subir un recuit apres le depot. En effectuant des mesures photothermiques avant et apres recuit (de l'ordre de 'aa#o pendant 24 heures), on apporte les techniques de caracterisation necessaires pour etudier les modifications de structure qui sont ainsi creees par recuit. Ceci doit permettre de definir les conditions du traitement thermique qui conduit aux meilleures performances


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Informations

  • Détails : 144 p
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 133-136

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  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 1493
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