Etude de la reponse au ph du nitrure de silicium en vue de la realisation de capteurs microelectroniques

par Christophe Lefevre

Thèse de doctorat en Chimie

Sous la direction de COSTES et de Daniel Estève.

Soutenue en 1989

à Toulouse 3 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    L'etude porte sur le processus d'elaboration des composants, la physique des dispositifs, leur encapsulation et les moyens mis en uvre pour les tester et les caracteriser. La deuxieme partie du travail presente les resultats experimentaux relatifs a l'etude de la sensibilite au ph, la stabilite temporelle et la degradation electrique

  • Titre traduit

    Study of silicon nitride ph response to the fabrication of microelectronics sensors


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  • Annexes : 97 REF

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  • Bibliothèque : Moyens Informatiques et Multimédia. Information.
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  • Cote : B-LEF
  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
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  • Cote : 1989TOU30153
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