Optimisation des traitements de gaas et gaas sur si par recuit thermique rapide a base de lampes halogenes

par HERVE BLANCK

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Alfred Goltzené.

Soutenue en 1989

à Strasbourg 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Une technique de recuit thermique rapide par lampes halogenes a ete mise au point. Son application pour deux etapes technologiques de la fabrication des composants en arseniure de gallium a ete testee: activation d'ions implantes et guerison de defauts de croissance d'heterostructures. Par cette technique, des couches actives de type a et des transitors ont pu etre realises


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 140 P.
  • Annexes : 105 REF

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Strasbourg. Service commun de la documentation. Bibliothèque Blaise Pascal.
  • Accessible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.