Réalisation et étude de guides d'ondes optiques plans en nitrure d'aluminium par pulvérisation magnétron réactive

par Ibrahim Kadad

Thèse de doctorat en Electronique

Sous la direction de Alain Cachard.

Soutenue en 1989

à Saint-Etienne .


  • Résumé

    Le principe de la technique de dépôts d'ain pulvérisation magnétron réactive et les caractéristiques courant-tension de la machine sont développés. La propagation de la lumière est étudiée et la technique de spectroscopie des lignes noires pour la détermination des propriétés optiques est décrite. Les résultats concernant l'influence des paramètres de la décharge sur les propriétés des couches minces d'ain sont présentes

  • Titre traduit

    Realization and study of planar optical wave guides in aluminium nitride with reactive magnetron sputtering


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Informations

  • Détails : 1 vol (173 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr., 8 p.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Jean Monnet. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
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