TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1989PA112404
TI  - Etude de la nitruration thermique, à pression atmosphérique, de l'oxyde de silicium et du silicium
AU  - Serrari, Allal
A3  - Lebihan, Raymond
PY  - 1989
SP  - 1 vol. (194 p.)
N1  - Thèse de doctorat Electronique Paris 11 1989
N1  - 1989PA112404
ER  -