Modélisation phénoménologique de trois procédés de photolithographie par contact pour la réalisation de circuits intégrés sur substrat AsGa

par Frédéric Pommereau

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Marc Rocchi.

Soutenue en 1989

à Paris 11 .


  • Résumé

    Cette thèse est consacrée à la modélisation phénoménologique de trois procédés de photolithographie par contact, pour la fabrication de circuits intégrés sur GaAs. Cette technique de modélisation est basée sur l'utilisation des plans d'expériences statistiques. Chaque procédé a été caractérisé par un certain nombre de réponses (dimensions et profil des motifs réalisés dans le film de résine). Ces réponses ont été modélisées l’aide de polynômes d'ordre 2. Les trois procédés de lithographie par contact sont : - un procédé standard pour trois épaisseurs de résine positive de la série AZ4000 et deux modes d'exposition (UV3 et UV4). - un procédé avec PEB (Post Exposure Bake) pour 1 de résine AZ4000 et un mode d'exposition (UV4). - et enfin, un procédé d'Inversion de l’image utilisant la résine inversible AZ5214E. Ce dernier est le plus performant des trois car il permet d'obtenir des profils de résine en surplomb (application Lift-off) et des profils verticaux (applications gravure ionique, implantation, …) avec de faibles dispersions en faisant varier la dose d'exposition. L'examen des résultats et des tendances a permis une interprétation physfco-chimique des phénomènes (absorption des résines, diffraction, modification thermique des constituants). Les modèles polynômiaux se prêtent particulièrement bien l’optimisation. Ainsi, quelques exemples d'optimisation vis-à-vis des techniques de gravure ionique et de lift-off sont présentées, montrant les possibilités d'analyses offertes par ces modèles.

  • Titre traduit

    Phenomenologic modeling of three contact photolithography processes for GaAs integrated circuits realization


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Informations

  • Détails : 1 vol. (130 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p.127-130

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Paris-Saclay. DIBISO. BU Orsay.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 0g ORSAY(1989)145
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-035421

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  • Bibliothèque : Université de Lille. Service commun de la documentation. Bibliothèque universitaire de Sciences Humaines et Sociales.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 1989PA112145
  • Bibliothèque : Université Paris-Est Créteil Val de Marne. Service commun de la documentation. Section multidisciplinaire.
  • PEB soumis à condition
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