Nettoyage de surface et depot de silicium en plasma multipolaire micro-onde : application a l'epitaxie a basse temperature

par MARC GUILLERMET

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de RUDOLF BURKE.

Soutenue en 1989

à Paris 7 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Developpement d'un plasma multipolaire micro-onde excite par resonance cyclotronique electronique; production a basse pression (0,1 pa), d'un plasma homogene de densite elevee avec des ions d'energie controlable de 1 a 100 ev. Caracterisation chimique (spectrometrie des electrons auger) et cristallographique (diffraction d'electrons lents) de la surface des substrats de silicium; etude de l'etat de surface apres interaction avec le plasma. Caracteristiques physico-chimiques et electriques des couches epitaxiques


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Annexes : 95 REF

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Limoges. Ecole nationale supérieure d'ingénieurs de Limoges. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • Accessible pour le PEB
  • Cote : TS1989
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.