Etude des interactions entre le sf#6, dielectrique gazeux, et les surfaces metalliques

par MOHAMMED MEGHERBI

Thèse de doctorat en Sciences appliquées. Chimie

Sous la direction de ALICE GOLDMAN.

Soutenue en 1989

à Paris 6 .

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  • Résumé

    La litterature mentionne un certain nombre de resultats experimentaux montrant que les materiaux d'electrodes et les etats de surface ont une influence sur les qualites d'isolation du sf#6. Une approche fine des phenomenes est tentee dans notre etude, principalement au moyen d'analyses de surfaces par spectrometrie esca. Les problemes sont en premier lieu abordes par l'etude des interactions du sf#6 avec differents metaux a temperature ambiante, et en l'absence de tout champ electrique. Cette etude montre que l'interaction sf#6/aluminium s'effectue par adsorption dissociative du sf#6 sur la surface, avec fixation de fluor et contamination du gaz par suite de la desorption de produits soufres. La reactivite du fluor se manifeste sur la surface par la formation de fluorure metallique et de fluorocarbures qui paraissent provenir de reactions entre les impuretes organiques de surface et des sous-produits de l'interaction sf#6/metal. Ensuite sont etudies les phenomenes dans du sf#6 active par des decharges non disruptives, de type couronne. A basse pression (27 kpa), un effet distinct de polarite est mis en evidence avec fixation preferentielle de fluor a la cathode et de soufre a l'anode. A haute pression (200 kpa), cet effet n'est pas distinct, mais il est montre que l'eau favorise une fixation de soufre aux depens de la fixation de fluor. Enfin, des mesures d'energie superficielle et de conductivite electrique superficielle montrent que le fluor fixe tend a former, sur les electrodes, un film isolant, susceptible de jouer un role benefique sur les qualites d'isolation du sf#6


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Informations

  • Annexes : 70 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1989
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