@PHDTHESIS{morin1989, url = "http://www.theses.fr/1989ORLE2019", title = "Controle du depot de carbone amorphe hydrogene par plasma multipolaire micro-onde", author = "Morin, Michel", year = "1989", note = "Thèse de doctorat dirigée par Vandenbulcke, Lionel Physique Orléans 1989", note = "1989ORLE2019", }