Etude des phenomenes limitant les performances en lithographie optique avancee sur photorepeteurs

par Alain Charles

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Augustin Martinez.

Soutenue en 1989

à Toulouse, INSA .


  • Résumé

    Le memoire traite des problemes rencontres lors de l'utilisation de photorepeteurs dans la fabrication des circuits vlsi. Une etude des performances de la lentille de projection est effectuee a l'aide d'une modelisation adequate et complete de la distorsion. Une nouvelle methode de mixage entre un photorepeteur et un scanner, utilisant le concept de signature, a permis d'en simplifier la procedure sans deteriorer les performances par rapport aux methodes employees classiquement. Des solutions simples testees, comme l'utilisation de marques d'alignement de geometrie particuliere, permettent de reduire sensiblement la dispersion. La realisation de geometries fines devient complexe sur substrats non plans et reflecteurs. Une etude utilisant une structure de test electrique a permis de comparer les performances obtenues avec deux resines photosensibles de caracteristiques differentes prealablement mesurees. L'interpretation des resultats est effectuee a l'aide de calculs theoriques et de simulations adaptees au procede en utilisant la methode des surfaces de reponse


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Informations

  • Annexes : 101 REF

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  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées. Bibliothèque centrale.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1989/095/CHA
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