Etude et simulation d'un procede de microlithographie : electronique sur une structuremulticouche de resines : recherche d'une optimisation

par Emmanuelle Petit-Bourdel

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Maurice Pyee.

Soutenue en 1989

à Toulouse, INSA .


  • Résumé

    Apres un rappel sur la microlithographie par faisceau electronique, on s'attarde sur les problemes lies a la retrodiffusion des electrons sur la resine lors du procede. Ensuite une description du logiciel de simulation numerique, elabore pour permettre l'etude de la retrodiffusion dans un systeme multicouche est donnee. On donne les resultats theorique pour plusieurs systemes multicouches que l'on compare a ceux experimentaux


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Informations

  • Détails : 196 P.
  • Annexes : 11 P

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  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées. Bibliothèque centrale.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1989/084/PET
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