Etude de la migration ionique dans les structures metal-isolant-semiconducteur

par CHRISTOPHE CHOQUET

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de B. BALLAND.

Soutenue en 1989

à Villeurbanne, INSA .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Developpement de deux modeles pour connaitre la localisation energetique et spatiale des ions dans les couches isolantes. Etude du comportement du sodium et du potassium dans les couches de silice thermique. Mise en evidence de la migration ionique du calcium dans les structures mos et observation de la migration du potassium dans les couches de nitrure de silicium depose cvd. Caracterisation des niveaux pieges dans le cas des deux dernieres migrations


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  • Annexes : 108 REF

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