Contribution à l'analyse cristallographique et mécanique des couches de molybdène préparées par pulvérisation cathodique magnétron

par Pierre Bosland

Thèse de doctorat en Génie des procédés

Sous la direction de Marcel Caillet.

Soutenue en 1989

à Grenoble I.N.P.G. .

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  • Résumé

    Elaboration par pulverisation cathodique magnetron en faisant varier la tension de polarisation negative appliquee au substrat, de revetements de molybdene presentant differents etats de contraintes de compression. Analyse, en fonction de l'evolution des contraintes, de l'evolution de la texture cristallographique et de la teneur en argon incorpore dans les couches

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  • Détails : 183 p

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 89/INPG/0069
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