Instrumentation et traitement du signal pour la caractérisation thermique et mécanique d'un four de tirage Czochralski sous champ magnétique : application à la croissance de GaAs

par Jean-Pierre Le Ludec

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de F. BERTIN.

Soutenue en 1989

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Une approche systematique de l'evolution des caracteristiques courant-tension et pression-tension, completee par une etude par spectroscopie d'emission et par la mesure de la densite electronique, nous a conduits a une interpretation fine de la decharge en cathode creuse de titane sous plasma d'argon. Une tension minimale de decharge fonction d'une pression optimale et d'un courant optimal de decharge, est mise en evidence, ces deux derniers parametres evoluant de facon proportionnelle. Nous montrons que l'efficacite maximale d'excitation et d'ionisation des electrons se produit a des pressions inversement proportionnelles aux classes d'energie electronique considerees. Nous mettons egalement en evidence une modification des caracteristiques de la decharge etroitement liee aux phases cristallographiques alpha et beta du titane. Ce phenomene semble etre associe a une variation du travail de sortie du titane a la transition de phase

  • Titre traduit

    Instrumentation and signal processing for the thermal and mechanical characterization of a crochralski furnace under magnetic field: application tothe growth of gaas


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  • Détails : 103 p., [75] p. d'ill

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  • Cote : TS 89/GRE1/0141
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