Propriétés physicochimiques et électriques du nitrure de silicium hydrogéné préparé par décomoposition plasma

par Maria Bensouda

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de J. C. BRUYERE.

Soutenue en 1989

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Preparation de couches amorphes, de compositions differentes, par depot chimique en phase vapeur a 185c, assistee par un plasma a 50 khz. Caracterisation par spectrometrie en ir, visible et proche uv, photodeflexion thermique, rpe, mesures de capacite et de conductance en fonction de la tension, et mesures de conductivite en courant continu en champ faible. Informations sur la physicochimie, la structure electronique et des defauts structuraux responsables des effets de piegeage

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  • Détails : 210 p

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 89/GRE1/0038
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