Propriétés physicochimiques et électriques du nitrure de silicium hydrogéné préparé par décomoposition plasma

par Maria Bensouda

Thèse de doctorat en Microélectronique

Sous la direction de Jean-Claude Bruyère.

Soutenue en 1989

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .


  • Résumé

    Preparation de couches amorphes, de compositions differentes, par depot chimique en phase vapeur a 185c, assistee par un plasma a 50 khz. Caracterisation par spectrometrie en ir, visible et proche uv, photodeflexion thermique, rpe, mesures de capacite et de conductance en fonction de la tension, et mesures de conductivite en courant continu en champ faible. Informations sur la physicochimie, la structure electronique et des defauts structuraux responsables des effets de piegeage

  • Titre traduit

    Physicochemical and electrical properties of hydrogenated silicon nitride deposited by pecvd


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  • Détails : 1 vol. (210 p.)
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  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
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  • Cote : TS89/GRE1/0038
  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
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