L'evolution thermique de l'as implante dans le si : liens entre l'activite electrique et l'evolution structurale

par ANDREA PARISINI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ALAIN BOURRET.

Soutenue en 1989

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Une contraction tetragonale des couches implantees et une dilatation locale autour des atomes as ont ete mises en evidence sur les echantillons recuits au laser. Explication par le modele du potentiel de deformation. Apres des recuits thermiques ulterieurs, observation: 1) de la transformation de la deformation elastique d'un etat de contraction a un etat de dilatation; 2) de la presence de defauts de type interstitiel et, a haute temperature, de precipites; 3) de la deactivation electrique de as pour differentes temperatures de recuit et doses. Presentation d'un modele preliminaire des premieres etapes de deactivation


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