Etude et mise au point d'un nouveau procede de depot de vapeurs et d'ions metalliques

par OLIVIER DE GABRIEL

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques Menet.

Soutenue en 1989

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Les procedes de traitement de surface par depot, qui permettent de modifier les proprietes de surface sans modifier celles du volume, connaissent un grand essor industriel. La description de ces procedes amene a considerer le role et l'importance que les plasma y jouent. La nouvelle source de plasma que nous avons mis au point a ete l'objet d'une etude experimentale qui est exposee. Cette source de plasma est la base du procede de depot que nous avons developpe (depot de vapeur et d'ions metalliques). La description et les resultats preliminaires permettent de comparer ce procede avec ceux existants. Les deux caracteristiques essentielles de ce procede sont la tres grande vitesse de depot et la tres bonne adherence


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Informations

  • Détails : 79 P.
  • Annexes : 25 REF.

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