Etude theorique et experimentale de l'emission de rayonnement x par les plasmas crees par laser : application a la lithographie x

par ISABELLE TOUBHANS-BARROS

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Edouard Fabre.

Soutenue en 1989

à l'EP .

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  • Résumé

    L'etude experimentale a necessite la mise au point de deux diagnostics: un multicanal x et un spectrometre a reseau a transmission. L'etude theorique a conduit a utiliser deux codes numeriques. Xsource donne avec une bonne approximation et avec un temps de calcul relativement court le spectre d'emission x quel que soit le numero atomique de la cible. X-rad, code hydrodynamique monodimensionnel plus complexe, tenant compte de la physique atomique et du transport radiatif de facon detaillee permet de determiner l'evolution des parametres caracteristiques du plasma


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