Traitements chimiques et thermiques de composes semi-conducteurs iii-v a base de in, ga, as, p en vue d'une reprise d'epitaxie

par ABDELLATIF BENDRAOUI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Michelle Cadoret.

Soutenue en 1989

à Clermont-Ferrand 2 .

mots clés

Résumé

L'etat de surface des semiconducteurs iii-v avant la reprise d'epitaxie conditionne les proprietes electroniques et la stabilite des composants realises. Mise en evidence de l'aspect dynamique de stabilisation des composes iii-v a base de in, ga, p et as sous hydrures. Developpement d'une methode originale de stabilisation statique de ces composes a base de chlorures d'in. Analyse des resultats experimentaux et interpretation en utilisant des modeles theoriques bases sur la thermodynamique statistique

Titre traduit

Chemical thermal treatments of iii-v semi-conductors components made of in, ga, as, p for a epitaxial regrowth

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