Restauration d'objet à partir d'images obtenues en microscopie à éclairage partiellement cohérent : applications métrologiques

par Eric Lantz

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques F. Duvernoy.

Soutenue en 1989

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    La limite de resolution en microscopie optique a eclairage partiellement coherent peut etre considerablement ameliore en combinant, pour restaurer l'objet, l'information a priori disponible avec les images experimentales digitalisees. La premiere partie presente les traitements prealables de l'image, lies a cette information a priori: digitalisation, symetrisation si le modele de l'image est symetrique, acquisition de plusieurs images d'un meme objet. Dans la deuxieme partie, on dispose d'un modele complet de l'objet et de l'image associee. Le modele developpe concerne les traits epais sur circuits integres. On montre comment remonter aux parametres dimensionnels caracterisant ces traits par comparaison du modele aux images experimentales, puis on evalue la precision accessible sur ces parametres. L'information a priori est, dans la troisieme partie, une limitation du support spatial de l'objet. Ce support est de l'ordre du micrometre. Il est alors possible de discretiser les equations du transfert bilineaire. Ce formalisme permet de restaurer un objet de phase et d'amplitude a partir de deux images differemment focalisees


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Informations

  • Détails : 1 vol (118p., pp.365-372, pp.1213-1226)
  • Annexes : bibliogr. pp.114-118

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SCI.BESA.1989.60
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